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光學顯微鏡

產品名稱:適用于大尺寸樣品的 Axio Imager Vario

產品簡介:分析從最小的 MEMS 傳感器到超大 XXL 晶圓,或整塊平板顯示器,不會對樣品造成破壞。 借助高達 300 mm 的橫向移動距離和 254 mm 的垂直深度,您可以在 Axio Imager Vario 下檢測多種樣品

檢測大尺寸樣品 – 擁有自動聚焦系統且滿足超凈室等級要求

分析從最小的 MEMS 傳感器到超大 XXL 晶圓,或甚至整塊平板顯微器,其間不會對樣品造成破壞。借助最大 300 mm 的橫向移動距離和最高 254 mm 的垂直深度,您可以在 Axio Imager Vario 下檢測大量樣品。一體化機柱設計確保了穩定性。在超凈室內檢測晶圓的應用中 – Axio Imager Vario 已通過 DIN EN ISO 14644-1 標準認證,并滿足潔超凈室等級 5 的要求。利用驅動 Z 軸的電動馬達與自動聚焦硬件確保自動調整至更佳聚焦位置。


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           ●  兩種手動和一種電動機柱(配有符合工業標準的三個模式控制按鈕)可

               供選擇,充分利用顯微鏡最大 300 mm 橫向與縱向移動距離和最高 254

               mm 垂直深度的優勢。

           ●  Axio Imager Vario 能通過物鏡轉盤的上下移動來聚焦樣品。這就意味

               著,即便是較重的樣品,也可以獲得高精準聚焦精度和可重復性。

           ●  借助自動聚焦硬件,您可以精準快速地聚焦低對比度的反射樣品。

           ●  Axio Imager Vario 與 LSM 700 組合應用,以高分辨率無接觸地分析敏

                                                                     感樣品。

                                                                 ●  Axio Imager Vario 已通過 DIN EN ISO 14644-1 標準認證,并滿足潔

                                                                     超凈室等級 5 的要求。


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        半導體制造與晶圓檢測需要在超凈室內完成。根據 DIN EN ISO 14644-1 標

        準,以每立方米的顆粒數量和大小將其劃分成不同等級。在超凈室應用中,

        Axio Imager Vario 已通過此標準認證,并滿足超凈室等級 5 的要求。超凈室

        ISO 5 等級相當于原 FED STD 209E(1992)標準的 100 級。超凈室套件中

        包含一個 7 孔物鏡轉盤、一個顆粒保護罩及一個防噴嚏保護罩。

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       集成有 Auto Focus 自動聚焦硬件系統的 Axio Imager Vario 能夠在高達

       12000 μm 的焦點捕獲范圍內實現快速精準的聚焦。在工業生產和研究的

       檢測應用中,您需要一套聚焦精度能達到物鏡景深 0.3 倍的高精度聚焦系統。

       該自動聚集硬件適合于使用反射光、透射光、明場、暗場、偏光、微分干涉

       相差及斜照明觀察方式的應用。

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